中商情报网讯:化学气相沉积(CVD)是一种用于生产高纯度固体材料的真空沉积工艺,化学气相沉积法制备的产品具有较高的均匀性和纯度,且该方法具有较强的工艺可控性。 全球市场规模分析 CVD碳化硅零部件被广泛应用于刻蚀设备、MOCVD设备、Si
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